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短波紫外大视场大数值孔径光学探头MTF等指标检测设备采购项目更正公告
  • 项目编号:0722-26FE6698SZF-1
  • 发布时间:2026-06-03
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一、项目基本情况

原公告的采购项目编号:0722-26FE6698SZF-1

原公告的采购项目名称:短波紫外大视场大数值孔径光学探头MTF等指标检测设备采购项目

首次公告日期:2026年5月29日

二、更正信息

1、将本项目《招标文件》“第四章 用户需求书”中“2.2、技术及质量参数要求”更正如下:

原招标文件内容:

(三)像面6维微米级位移台

技术参数:

序号需求项多轴定制
1运动参数约束:
1.1行程 (X)±100 mm
1.2行程 (Y)±30 mm
1.3行程 (Z)±400 mm
1.4行程 (Ry)±8°
1.5行程 (Rz)±8°
1.6分辨率/最小步长(XYZ)≤1 µm
1.7分辨率/最小步长(RxRz)≤0.001°
1.8定位精度 (XYZ)≤±4 µm(实际使用环境标定后)
1.9定位精度 (RxRz)≤0.0075°(实际使用环境标定后)
1.10双向重复定位精度 (XYZ)≤ ± 2µm
1.11双向重复定位精度 (RxRz)≤0.005°
1.12直线度(XYZ)每100mm有效行程≤± 2 µm
1.13平面度(XYZ)每100mm有效行程≤± 3 µm
1.14偏摆、俯仰、翻滚± 5″
1.15整机载荷≤200kg
1.16行程 (大范围工位切换X)1300mm
1.17重复定位精度 (工位切换X)≤±10 µm
1.18各轴间运动耦合误差<18″

更正为:

(三)像面龙门微米级位移台

技术参数:

序号需求项多轴定制
1运动参数约束:
1.1行程 (X)±100 mm
1.2行程 (Y)±30 mm
1.3行程 (Z)±400 mm
1.4行程 (Ry)±8°
1.5行程 (Rz)±8°
1.6分辨率/最小步长(XYZ)≤1 µm
1.7分辨率/最小步长(RxRz)≤0.001°
1.8定位精度 (XYZ)≤±4 µm(实际使用环境标定后)
1.9定位精度 (RxRz)≤0.0075°(实际使用环境标定后)
1.10双向重复定位精度 (XYZ)≤ ± 2µm
1.11双向重复定位精度 (RxRz)≤0.005°
1.12直线度(XYZ)每100mm有效行程≤± 2 µm
1.13平面度(XYZ)每100mm有效行程≤± 3 µm
1.14偏摆、俯仰、翻滚± 5″
1.15行程 (大范围工位切换X)1300mm
1.16重复定位精度 (工位切换X)≤±10 µm
1.17各轴间运动耦合误差<18″

2、相关时间延期更正如下:

1)获取招标文件截止时间更正为:2026年6月12日17:00(北京时间)。

3、其他事项不变。

三、其他补充事宜

1、招标文件如涉及上述内容的亦作相应修改,本通知与原招标文件矛盾之处,以本通知为准。

四、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。

1.招标人信息

名  称:深圳中科飞测科技股份有限公司

地  址:深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号

联系人:梁女士

电  话:0755-82574995

2.招标代理机构信息

名  称:中国远东国际招标有限公司

地  址:深圳市福田区上步南路1001号锦峰大厦22楼

联系人:余女士

电  话:《招标(采购)文件》获取咨询)0755-83629806、82078819、83629816

(其他咨询)0755-82078819、82077364转101

传  真:0755-82077519

邮  箱:info@zgyd11.com、dept1@zgyd11.com

3.项目联系方式

项目联系人:凌女士、李女士

电 话:0755-82077364转105                                    

          中国远东国际招标有限公司

                            2026年6月3日