| 采购单位 | 南方工业技术研究院（深圳） |
| 项目名称 | 离子束抛光机及配套设备 |
| 预算金额（万元） | 485万元 |
| 采购品目 | 电气物理设备 |
| 采购需求概况 | 为填补南方工业技术研究院超精密光学加工平台在亚纳米级精度制造的短板，完善光学元件全流程制造与检测工艺链，支撑极紫外光学、空间光学、先进激光等重点研究方向发展，南方工业技术研究院拟采购离子束抛光机1台（设备用于确定性修形加工，可实现光学元件亚纳米级面形精度），白光干涉仪1台（设备用于检测半导体/光学元件中频粗糙度，检测精度小于0.1 nm），激光干涉仪1台（设备用于检测光学元件低频面形误差，可实现亚纳米精度检测）以及2台机械臂抛光设备（设备用于半导体/光学元件的超光滑抛光，抛光精度可达原子级），并强化南方工业研究院在先进光学制造与精密测量方向的前沿科研与人才培养。 |
| 联系人 | 许老师 |
| 联系方式 | 电话：0755-23306690邮箱cgzy@siitsz.com |
| 预计采购时间 | 2026年11月 |
| 备注 | 无 |
